대구한의대학교 향산도서관

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산화제(H₂O₂)의 첨가 유뮤에 따른 Ti/TiN막의 CMP 연마 특성: / 이경진 서용진 박창준 김기욱 박성우 김상용 이우선 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /