대구한의대학교 향산도서관

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Chemically Assisted Ion Beam Etching에 의한 Ru 및 RuO₂ 박막의 Cl₂흡착에 따른 식각특성 / 김기중 윤창주 유홍우 / 한국물리학회 / 응용 물리 / 1997 /