대구한의대학교 향산도서관

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실리콘 박막의 Integrity가 ONO(oxide/nitride/oxide) 유전박막의 전기적 성질에 미치는 영향: / 김동원 라사균 이영종 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1994 /