대구한의대학교 향산도서관

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E-beam lithography법에 의한 ZnO 박막 SAW 소자용 IDT 패턴제작에 관한 연구 / 김영진 이우형 김여환 김형준 / 한국센서학회 센서기술연구소 / 종합학술대회 논문집(한국센서학회) / 1991 /