대구한의대학교 향산도서관

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고체 표명 식각 및 평탄화를 위한 가스 클러스터 이온원 개발 / 송재훈 최덕균 최원국 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2002 /