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홈구조 실리콘 접합 경계면에서의 Void 제거를 위한 실리콘 직접접ㅈ합 방법 / 김상철 김은동 김남균 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2002 /