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구리 CMP 슬러리를 위한 산화제 H₂O₂의 안전성: / 이도원 김인표 김남훈 김상용 서용진 장의구 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /