대구한의대학교 향산도서관

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SDB와 etch-back 기술에 의한 MEMS용 SiCOI구조 제조: / 정수용 우형순 정귀상 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /