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MEMS 적용을 위한 thermal CVD 방법에 의해 증착한 SiC막의 etching 특성 평가: / 최기용 최덕균 박지연 김태송 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /