대구한의대학교 향산도서관

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Si(100)기판위에 성장된 3C-SiC의 RIE 특성: / 정수용 우형순 진동우 정귀상 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /