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Argon 유도결합 플라즈마의 광학적, 전기적 특성에 관한 연구

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자료유형기사
기사명Argon 유도결합 플라즈마의 광학적, 전기적 특성에 관한 연구 :
저자명김영철 이정우 조영석
발행/형태사항: 한국물리학회, 1999
수록잡지명새 물리 : 1999년 06월 제39권 제3호
페이지157-165

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