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MEMS에서의 마이크로 가공기술

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자료유형기사
기사명MEMS에서의 마이크로 가공기술 :
저자명조성갑
발행/형태사항: 유한대학 부설 산업과학기술연구소, 1999
수록잡지명산업 과학 기술 연구소 논문집(유한대) : 1999년 제4집
페이지77-98

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 505 구독중단 2001년 제6집 권호정보

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