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Depth profiling에서 sputtering rate의 영향:

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자료유형기사
기사명Depth profiling에서 sputtering rate의 영향 :
저자명김주광 성인복 김태준 오상훈 강석태
발행/형태사항: 한국진공학회, 2003
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2003년 09월 제12권 3호
페이지162-167

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