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나노인덴터 압입팁의 특성에 따른 표면 이미지 오차 연구:

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자료유형기사
기사명나노인덴터 압입팁의 특성에 따른 표면 이미지 오차 연구 :
저자명김수인 이찬미 이창우
발행/형태사항: 한국진공학회, 2009
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2009년 09월 제18권 5호
페이지346-351

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