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Spline 보간법에 의한 실리콘웨이퍼 단면도 추정

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자료유형기사
기사명Spline 보간법에 의한 실리콘웨이퍼 단면도 추정 :
저자명송은지
발행/형태사항: 남서울대학교 공학연구센터, 2000
수록잡지명공학 연구(남서울대) : 1999년 제1집
페이지31-35

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 530.05 구독중 1999년 제1집 권호정보

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