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ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화

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자료유형기사
기사명ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화 :
저자명이정열 강석원 이진우
발행/형태사항: 대한전자공학회, 1995
수록잡지명전자 공학회 논문지(A) : 1995년 03월 제32권 3호
페이지68-77

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 569.05 전자공ㄱ 구독중단 1995년 12월 제32권 12호 권호정보 제본정보

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