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Rapid Thermal Alloy 장치를 이용한 알루미늄과 실리콘이 Contact 저항 특성

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자료유형기사
기사명Rapid Thermal Alloy 장치를 이용한 알루미늄과 실리콘이 Contact 저항 특성 :
저자명이동화 이영희
발행/형태사항: 한국물리학회, 1991
수록잡지명응용 물리 : 1991년 11월 제4권 4호
페이지501-505

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