대구한의대학교 향산도서관

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ERRATUM - TaN-TiN Binary Alloys and Superlattices as Diffusion Barriers for Copper Interconnections - H. Wang, A. Gupta, Ashutosh Tiwari, X. Zhang, and J. Narayan (J. Electron. Mater. 32, 994 (2003)):

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