부가기능
ERRATUM - TaN-TiN Binary Alloys and Superlattices as Diffusion Barriers for Copper Interconnections - H. Wang, A. Gupta, Ashutosh Tiwari, X. Zhang, and J. Narayan (J. Electron. Mater. 32, 994 (2003)):
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삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/
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569.2 J86 |
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2005년 12월 Vol.34 No.12 |
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