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FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기가:

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자료유형기사
기사명FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응 기가 :
저자명조경원 홍태완 권순용 최시경
발행/형태사항: 한국재료학회, 2004
수록잡지명한국 재료 학회지 : 2004년 10월 제14권 10호
페이지688-695

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