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Fabrication and Characteristics of Micro-Electro-Mechanical-System-Based Gas Flow Sensor:

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자료유형기사
기사명Fabrication and Characteristics of Micro-Electro-Mechanical-System-Based Gas Flow Sensor :
저자명최주찬 이준규 공성호
발행/형태사항: 한국센서학회, 2011
수록잡지명센서 학회지 : 2011년 11월 제20권 제6호
페이지363-367

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 구독중 2013년 11월 제22권 제6호 권호정보

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