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MOCVD copper 박막의 열처리가 electromigration 특성에 미치는 영향 연구:

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자료유형기사
기사명MOCVD copper 박막의 열처리가 electromigration 특성에 미치는 영향 연구 :
저자명이원석 배성찬 손승현
발행/형태사항: 한국진공학회, 2002
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2002년 12월 제11권 4호
페이지194-200

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