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이온 빔 스퍼터법에 의한 산화물 초전도 박막의 에피택셜 성장:

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자료유형기사
기사명이온 빔 스퍼터법에 의한 산화물 초전도 박막의 에피택셜 성장 :
저자명박용필
발행/형태사항: 한국전기전자재료학회, 2002
수록잡지명전기 전자 재료 : 2002년 08월 제15권 8호
페이지8-18

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