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고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구

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자료유형기사
기사명고밀도 플라즈마에 의한 CeO₂박막의 식각 메커니즘 연구 :
저자명오창석 김창일
발행/형태사항: 대한전자공학회, 2001
수록잡지명전자공학회논문지 - SD : 2001년 12월 제38권 12호
페이지8-13

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 569.05 전자공구 구독중 2012년 08월 제49권 8호 권호정보
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