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CF₄를 이용한 Si1-xGex 에피박막의 반응성 이온식각 연구

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자료유형기사
기사명CF₄를 이용한 Si1-xGex 에피박막의 반응성 이온식각 연구 :
저자명윤창주 유홍우
발행/형태사항: 한국물리학회, 2001
수록잡지명새 물리 : 2001년 02월 제42권 제2호
페이지65-71

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