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고밀도 플라즈마 발생장치 2차원 모델링

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자료유형기사
기사명고밀도 플라즈마 발생장치 2차원 모델링 :
저자명이상덕 신치범
발행/형태사항: 한국화학공학회, 2001
수록잡지명화학 공학 : 2001년 02월 Vol.39 No.1
페이지23-29

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1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 430 화학공 구독중단 2012년 06월 Vol.50 No.3 권호정보 제본정보

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