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PE-ALD를 이용한 SnO₂Thin film의 특성:

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자료유형기사
기사명PE-ALD를 이용한 SnO₂Thin film의 특성 :
저자명박용주 이운영 최용국 이현규 박진성
발행/형태사항: 한국재료학회, 2004
수록잡지명한국 재료 학회지 : 2004년 12월 제14권 12호
페이지840-845

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
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