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정전 용량형 MEMS 공진기의 비이상적 주파수 응답 모델링:

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자료유형기사
기사명정전 용량형 MEMS 공진기의 비이상적 주파수 응답 모델링 :
저자명고형호
발행/형태사항: 한국센서학회, 2010
수록잡지명센서 학회지 : 2010년 05월 제19권 제3호
페이지191-196

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 구독중 2013년 11월 제22권 제6호 권호정보

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