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터모분자펌프 및 복합분자펌프의 성능시험절차에 대한 고찰

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자료유형기사
기사명터모분자펌프 및 복합분자펌프의 성능시험절차에 대한 고찰 :
저자명인상렬 박미영
발행/형태사항: 한국진공학회, 2001
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2001년 09월 제10권 3호
페이지303-311

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