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이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석:

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자료유형기사
기사명이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석 :
저자명임재원 배준우 Isshiki.Minoru
발행/형태사항: 한국진공학회, 2004
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2004년 03월 제13권 1호
페이지22-28

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