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반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요:

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자료유형기사
기사명반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요 :
저자명이상윤 노명근 김병옥 이안성
발행/형태사항: 한국진공학회, 2010
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2010년 07월 제19권 4호
페이지265-274

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 구독중단 2010년 11월 제19권 6호 권호정보

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