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반도체 산업에 있어서의 진공 펌프 소비 전력 절감 방안:

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자료유형기사
기사명반도체 산업에 있어서의 진공 펌프 소비 전력 절감 방안 :
저자명주장헌 김효배 김중조
발행/형태사항: 한국진공학회, 2008
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2008년 07월 제17권 4호
페이지278-291

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