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RF 스퍼터링법에 의한 SCT박막의 전기적 특성

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자료유형기사
기사명RF 스퍼터링법에 의한 SCT박막의 전기적 특성 :
저자명김원종 정의남 심상홍
발행/형태사항: 삼척대학교, 2001
수록잡지명논문집(삼척대) : 2001년 제34집(I)
페이지47-58

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 051 구독중 2003년 제36집 권호정보

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