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펄스페이저증착과정의 입자속도에 관한 연구

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자료유형기사
기사명펄스페이저증착과정의 입자속도에 관한 연구 :
저자명김호성
발행/형태사항: 중앙대학교 생산공학연구소, 1994
수록잡지명생산 공학 연구소 논문집(중앙대) : 1994년 제3권 2호
페이지90-99

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 구독중단 1995년 제4권 1호 권호정보

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