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건식 열산화로 성장시킨 SiO₂박막의 이차전자 방출 특성

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자료유형기사
기사명건식 열산화로 성장시킨 SiO₂박막의 이차전자 방출 특성 :
저자명정태원 유세기 이정희
발행/형태사항: 한국진공학회, 2001
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2001년 04월 제10권 1호
페이지31-36

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1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 구독중단 2010년 11월 제19권 6호 권호정보

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