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RF/마이크로웨이브 방전에서의 전자에너지 분포함수의 결정

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자료유형기사
기사명RF/마이크로웨이브 방전에서의 전자에너지 분포함수의 결정 :
저자명고욱희 박인호 김남춘
발행/형태사항: 한국진공학회, 2001
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 2001년 12월 제10권 4호
페이지424-430

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