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ECR-CVD로 증착한 실리콘 질화박막의 증착 및 광학적,전기적 특성연구

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자료유형기사
기사명ECR-CVD로 증착한 실리콘 질화박막의 증착 및 광학적,전기적 특성연구 :
저자명안명환 서문석 유홍우
발행/형태사항: 한국물리학회, 1997
수록잡지명응용 물리 : 1997년 09월 제10권 5호
페이지448-452

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