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미립액상법을 위한 PECVD 방응로설계

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자료유형기사
기사명미립액상법을 위한 PECVD 방응로설계 :
저자명정용선 오근호
발행/형태사항: 한국결정성장학회, 1997
수록잡지명한국 결정 성장 학회지 : 1997년 06월 제7권 2호
페이지235~243

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No. 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호 권호·제본정보 보기
1 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ 구독중단 1998년 09월 제8권 3호 권호정보

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