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저주파(60Hz) 플라즈마 CVD로 실온에서 제작한 a-C:H 박막

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자료유형기사
기사명저주파(60Hz) 플라즈마 CVD로 실온에서 제작한 a-C:H 박막 :
저자명박덕규 김봉수 강상수
발행/형태사항: 동일문화장학재단, 1995
수록잡지명동일 문화 논총 : 1996년 제5집
페이지175-183

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