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SPECIAL ISSUE ON CHALLENGES IN ADVANCED THIN FILMS: MICROSTRUCTURES, INTERFACES, AND REACTIONS - Textural and Microstructural Transformation of Cu Damascene Interconnects after Annealing:
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자료유형 기사 기사명 SPECIAL ISSUE ON CHALLENGES IN ADVANCED THIN FILMS: MICROSTRUCTURES, INTERFACES, AND REACTIONS - Textural and Microstructural Transformation of Cu Damascene Interconnects after Annealing : 저자명 Cho, Jae-Young,Lee, Hyo-Jong,Kim, Hyoungbae,Szpunar, Jerzy A 발행/형태사항 : Institute of Electrical and Electronics Engineers , 2005 수록잡지명 Journal of Electronic Materials : 2005년 05월 Vol.34 No.5 페이지 506-514
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2005년 12월 Vol.34 No.12
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