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전기화학증착법에 의한 구리박막과 패턴충전 특성

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자료유형기사
기사명전기화학증착법에 의한 구리박막과 패턴충전 특성 :
저자명김용안 양성훈 이석형 이경우 박종완
발행/형태사항: 한국재료학회, 1999
수록잡지명한국 재료 학회지 : 1999년 06월 제9권 6호
페이지583-588

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