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Si+ 이온주입된 GaAs의 급속열처리에 의한 활성화 특성

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자료유형기사
기사명Si+ 이온주입된 GaAs의 급속열처리에 의한 활성화 특성 :
저자명심규환 편광의 이종람
발행/형태사항: 한국물리학회, 1989
수록잡지명응용 물리 : 1989년 11월 제2권 4호
페이지400-406

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