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In-situ Process에 의한 Indium Oxide의 선택성장과 GaAs 패턴에칭

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자료유형기사
기사명In-situ Process에 의한 Indium Oxide의 선택성장과 GaAs 패턴에칭 :
저자명김은규 민석기 KOzasa
발행/형태사항: 한국물리학회, 1995
수록잡지명응용 물리 : 1995년 03월 제8권 2호
페이지157-161

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