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후속 열처리에 의한 CVD-Cu 박막의 전기적 성질 향상에 관한 연구

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자료유형기사
기사명후속 열처리에 의한 CVD-Cu 박막의 전기적 성질 향상에 관한 연구 :
저자명박동일 조남인 최성수
발행/형태사항: 한국물리학회, 1998
수록잡지명응용 물리 : 1998년 07월 제11권 4호
페이지436-441

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