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Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향:

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자료유형기사
기사명Cu-CMP에서 Alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 :
저자명박진형 김민석 백운규 박재근
발행/형태사항: 한국재료학회, 2005
수록잡지명한국 재료 학회지 : 2005년 06월 제15권 6호
페이지426-430

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