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FTES.O2-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막 특성

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자료유형기사
기사명FTES.O2-PECVD 방법에 의한 SiOF 박막 특성 :
저자명김덕수 이지혁 이광만
발행/형태사항: 한국재료학회, 1999
수록잡지명한국 재료 학회지 : 1999년 08월 제9권 8호
페이지825-830

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