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Low-k polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구

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자료유형기사
기사명Low-k polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구 :
저자명문호성 김상훈 안진호
발행/형태사항: 한국재료학회, 2000
수록잡지명한국 재료 학회지 : 2000년 06월 제10권 6호
페이지450-455

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