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순 아르콘 캐리어 가스와 APCVD 로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성:

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자료유형기사
기사명순 아르콘 캐리어 가스와 APCVD 로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 기계적 특성 :
저자명한기봉 정귀상
발행/형태사항: 한국센서학회, 2007
수록잡지명센서 학회지 : 2007년 07월 제16권 제4호
페이지319-323

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