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선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100) 기판쌍의 직접접합

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자료유형기사
기사명선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100) 기판쌍의 직접접합 :
저자명이영민 송오성 이상현
발행/형태사항: 한국재료학회, 2001
수록잡지명한국 재료 학회지 : 2001년 05월 제11권 5호
페이지427-430

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