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As 이온이 주입된 단결성 실리콘(100)의 전기적 활성화 연구

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자료유형기사
기사명As 이온이 주입된 단결성 실리콘(100)의 전기적 활성화 연구 :
저자명이동건 문영희 손정식
발행/형태사항: 한국진공학회, 1995
수록잡지명韓國眞空學會誌 : 1995년 03월 제4권 1호
페이지104-108

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